# Hvilke kabelgjennomføringsmaterialer gir lavest avgassing for renrom og vakuumapplikasjoner?

> Kilde: https://chinacableglands.com/nb/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/
> Published: 2026-03-06T01:37:50+00:00
> Modified: 2026-05-13T01:31:28+00:00
> Agent JSON: https://chinacableglands.com/nb/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.json
> Agent Markdown: https://chinacableglands.com/nb/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.md

## Summary

Valg av kabelgjennomføringer med lav avgassing er avgjørende for å forhindre molekylær kontaminering i renrom og ultrahøyvakuumsystemer. Denne tekniske veiledningen tar for seg mekanismene bak avgassing, sammenligner ytelsen til PTFE- og PEEK-polymerer og beskriver den strenge ASTM E595-testen som kreves for å oppfylle de strenge ISO-klassifiseringsstandardene.

## Article

![Polyetereterketon](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Polyether-Ether-Ketone-1024x325.jpg)

Polyetereterketon

## Innledning

Molekylær forurensning fra avgassende kabelgjennomføringer kan ødelegge halvlederskiver, ødelegge optiske belegg og kontaminere ultrahøyvakuumsystemer, noe som kan føre til produkttap i millionklassen og forsinkelser i forskningen når flyktige organiske forbindelser overskrider kritiske renhetsgrenser i sensitive produksjonsmiljøer.

**[PTFE- og PEEK-kabelgjennomføringsmaterialer har de laveste avgassingshastighetene på <1×10-⁸ torr-L/s-cm² for vakuumapplikasjoner](https://outgassing.nasa.gov/)[1](#fn-1), mens spesialutviklede elastomerer med lav avgassing og metallkomponenter gir pålitelig tetningsevne i renromsmiljøer som krever renhetsstandarder i ISO-klasse 1-5.**

Etter å ha jobbet med halvlederfabrikker, flyprodusenter og forskningsinstitusjoner i ti år, har jeg lært at det å velge riktige materialer for kabelgjennomføringer med lav avgassing ikke bare handler om å oppfylle spesifikasjonene - det handler om å forhindre kontaminering som kan stanse hele produksjonslinjer eller sette kritiske forskningsprosjekter i fare.

## Innholdsfortegnelse

- [Hva forårsaker avgassing i kabelgjennomføringsmaterialer?](#what-causes-outgassing-in-cable-gland-materials)
- [Hvilke materialer gir lavest avgassing?](#which-materials-provide-the-lowest-outgassing-rates)
- [Hvordan tester og måler du avgassingsytelsen?](#how-do-you-test-and-measure-outgassing-performance)
- [Hva er kravene til ulike renromsklassifiseringer?](#what-are-the-requirements-for-different-cleanroom-classifications)
- [Hvordan velger du kabelgjennomføringer for applikasjoner med ultrahøyt vakuum?](#how-do-you-select-cable-glands-for-ultra-high-vacuum-applications)
- [Vanlige spørsmål om avgassingsfattige materialer til kabelgjennomføringer](#faqs-about-low-outgassing-cable-gland-materials)

## Hva forårsaker avgassing i kabelgjennomføringsmaterialer?

Forståelse av avgassingsmekanismer er avgjørende for å kunne velge egnede materialer til bruk i renrom og vakuum.

**Avgassing oppstår når flyktige organiske forbindelser, myknere og absorbert fuktighet migrerer fra kabelgjennomføringer og ut i omgivelsene, og utslippsraten øker eksponentielt med temperaturen og synkende trykk, noe som skaper molekylær forurensning som kan kompromittere følsomme prosesser og utstyr.**

![Et diagram som illustrerer avgassingsmekanismer i renrom og vakuumapplikasjoner, og som viser flyktige organiske forbindelser som slipper ut fra en kabelgjennomføring, med markeringer for primære avgassingskilder og miljøeffekter, som alle påvirkes av temperatur og trykk.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Outgassing-Mechanisms-Cleanroom-Vacuum-Applications.jpg)

Avgassingsmekanismer - renrom og vakuumapplikasjoner

### Primære avgassingskilder

**Polymertilsetninger:**

- Myknere forbedrer fleksibiliteten, men øker avgassingen
- Antioksidanter hindrer nedbrytning, men kan fordampe
- Prosesseringshjelpemidler og formslippmidler
- Fargestoffer og UV-stabilisatorer bidrar til utslipp

**Rester fra produksjonen:**

- Rester av løsemidler fra prosessering
- Ureagerte monomerer og oligomerer
- Rester av katalysatorer og initiatorer
- Overflateforurensning fra håndtering

Jeg jobbet med Dr. Sarah Chen, en prosessingeniør ved en halvlederfabrikk i Silicon Valley, der standard nylonkabelgjennomføringer forårsaket partikkelforurensning i renrommet i klasse 1, noe som førte til et avkastningstap på 15% på avanserte logikkbrikker.

### Miljømessige faktorer

**Temperaturpåvirkning:**

- [Avgassingshastigheten dobles for hver 10 °C økning](https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing)[2](#fn-2)
- Termisk sykling fremskynder frigjøring av flyktige stoffer
- Bakeout ved høy temperatur reduserer utslippene på lang sikt
- Aktiveringsenergien avgjør temperaturfølsomheten

**Trykkpåvirkning:**

- Lavere trykk øker drivkraften for avgassing
- Vakuumforhold forhindrer reabsorpsjon
- Molekylært strømningsregime påvirker masseoverføringen
- Pumpehastighet påvirker likevektskonsentrasjonen

**Tidsavhengighet:**

- Innledende utbrudd av høye avgassingshastigheter
- Gradvis nedgang etter potensloven
- Langsiktige utslipp i stabil tilstand
- Aldringseffekter på materialegenskaper

Dr. Chens fabrikk trengte en fullstendig materialevaluering og utvelgelsesprosess for å identifisere kabelgjennomføringer med avgassingshastigheter under 1×10-⁹ torr-L/s-cm² for å opprettholde de kritiske kravene til renhet.

### Forurensningsmekanismer

**Overflateadsorpsjon:**

- Flyktige forbindelser kondenserer på kalde overflater
- Molekylære lag bygges opp over tid
- Desorpsjon skaper sekundær forurensning
- Kritiske overflatetemperaturer påvirker kondenseringen

**Kjemiske reaksjoner:**

- Utgassede stoffer reagerer med prosesskjemikalier
- Katalytiske effekter på følsomme overflater
- Korrosjon og etsing av optiske komponenter
- Dannelse av ikke-flyktige rester

**Partikkelgenerering:**

- Polymernedbrytning skaper partikler
- Termisk stress forårsaker materialavgivelse
- Mekanisk slitasje genererer rusk
- Elektrostatisk tiltrekning konsentrerer partiklene

## Hvilke materialer gir lavest avgassing?

Materialvalg er avgjørende for å oppnå svært lav avgassing i krevende bruksområder.

**PTFE-, PEEK- og PPS-polymerer gir avgassingshastigheter under 1×10-⁸ torr-L/s-cm², mens spesialbehandlede EPDM- og FKM-elastomerer gir tetningsevne med hastigheter under 1×10-⁷ torr-L/s-cm², og elektropolerte komponenter i rustfritt stål bidrar til minimal forurensning i vakuumsystemer.**

### Ytelse for polymermaterialer

**Polymerer med svært lav avgassing:**

| Materiale | Utgassingshastighet (torr-L/s-cm²) | Temperaturgrense | Viktige fordeler | Bruksområder |
| PTFE |  | 260°C | Kjemisk inert, lav friksjon | UHV, halvleder |
| PEEK |  | 250°C | Høy styrke, strålingsbestandig | Luft- og romfart, forskning |
| PPS |  | 220°C | God kjemisk resistens | Bilindustri, elektronikk |
| PI (polyimid) |  | 300°C | Høy temperaturstabilitet | Bruksområder i verdensrommet |

**Alternativer for elastomer:**

- EPDM med lav avgassing: <1×10-⁷ torr-L/s-cm²
- Spesialbehandlet FKM: <5×10-⁷ torr-L/s-cm²
- Perfluoroelastomer: <1×10-⁸ torr-L/s-cm²
- Silikon (lav avgassingskvalitet): <1×10-⁶ torr-L/s-cm²

### Vurderinger av metallkomponenter

**Rustfrie stålkvaliteter:**

- 316L elektropolert: <1×10-¹⁰ torr-L/s-cm²
- 304 standard finish: <1×10-⁹ torr-L/s-cm²
- Passiveringsbehandling reduserer avgassing
- Overflatens ruhet påvirker utslippsraten

**Alternative metaller:**

- Aluminiumslegeringer med anodisert overflate
- Titan for korrosive miljøer
- Inconel for bruksområder med høy temperatur
- Kobber for spesifikke elektriske krav

Jeg husker at jeg jobbet sammen med Hans, en vakuumingeniør ved et forskningsanlegg i München i Tyskland, der de trengte kabelgjennomføringer til en partikkelakseleratorstråle som krevde ultrahøyt vakuum under 1×10-¹¹ torr.

Hans' bruksområde krevde kabelgjennomføringer helt i metall med PTFE-isolasjon og spesialbehandlede tetninger for å oppnå de nødvendige vakuumnivåene uten at det gikk på bekostning av den elektriske ytelsen.

### Behandling og behandlingseffekter

**Forberedelse av overflaten:**

- Elektropolering reduserer overflatearealet
- Kjemisk rengjøring fjerner forurensninger
- Passiveringsbehandlinger forbedrer stabiliteten
- Behandling i kontrollert atmosfære

**Termisk kondisjonering:**

- Vakuum bakeout ved forhøyet temperatur
- Fjerner flyktige forbindelser og fuktighet
- Fremskyndet aldring for stabilitet
- Verifikasjonstesting for kvalitetskontroll

**Kvalitetssikring:**

- Materialsertifisering og sporbarhet
- Batch-testing for avgassingsytelse
- Statistisk prosesskontroll
- Forurensningsfri emballasje og håndtering

## Hvordan tester og måler du avgassingsytelsen?

Standardiserte testmetoder sikrer pålitelig måling av avgassingshastigheter for materialkvalifisering.

**[ASTM E595 og NASA SP-R-0022A inneholder standardiserte testmetoder for måling av totalt massetap (TML) og innsamlede flyktige kondenserbare materialer (CVCM).](https://www.astm.org/e0595-15r21.html)[3](#fn-3), med akseptkriterier på TML <1,0% og CVCM <0,1% for romfartøyapplikasjoner, mens ASTM F1408 måler avgassingshastigheter for vakuumapplikasjoner.**

### Standard testmetoder

**ASTM E595 Screening Test:**

- 24 timers eksponering ved 125 °C i vakuum
- Måler totalt massetap (TML)
- Samler opp flyktige kondenserbare materialer (CVCM)
- Kriterier for bestått/ikke bestått for romsøknader
- Allment akseptert industristandard

**ASTM F1408 Hastighetsmåling:**

- Kontinuerlig overvåking av avgassingshastigheten
- Karakterisering av temperatur- og tidsavhengighet
- Egnet for design av vakuumsystemer
- Gir kinetiske data for modellering

**Tilpassede testprotokoller:**

- Applikasjonsspesifikke temperaturprofiler
- Testing over lengre tid
- Kjemisk analyse av avgassede stoffer
- Evaluering av forurensningsfølsomhet

### Testutstyr og prosedyrer

**Vakuumsystemer:**

- Testkamre med ultrahøyt vakuum
- Restgassanalysatorer (RGA)
- Kvadrupol-massespektrometre
- Systemer for trykkmåling

**Klargjøring av prøven:**

- Kontrollert skjæring og håndtering
- Måling av overflateareal
- Prosedyrer for forhåndskondisjonering
- Protokoller for forebygging av forurensning

**Dataanalyse:**

- Beregning av avgassingshastighet
- Statistisk analyse av resultatene
- Arrhenius-modellering for temperatureffekter
- Levetidsprognoser og ekstrapolering

### Applikasjoner for kvalitetskontroll

**Materialkvalifisering:**

- Krav til leverandørsertifisering
- Verifisering av batch-til-batch-konsistens
- Testing av prosessvalidering
- Vurdering av langsiktig stabilitet

**Overvåking av produksjonen:**

- Statistiske utvalgsplaner
- Trendanalyse og kontrolldiagrammer
- Undersøkelse av avvik
- Programmer for kontinuerlig forbedring

Bepto samarbeider med sertifiserte testlaboratorier for å kunne tilby omfattende avgassingskarakterisering for alle våre renromsprodukter og vakuumkompatible kabelgjennomføringer.

## Hva er kravene til ulike renromsklassifiseringer?

Renromsklassifiseringer dikterer spesifikke materialkrav og tiltak for kontaminasjonskontroll.

**ISO-klasse 1 renrom krever kabelgjennomføringer med partikkelgenerering 0,1 μm og molekylær kontaminering <1×10-⁹ g/cm²-min, mens klasse 5-miljøer tillater høyere grenser på 0,5 μm og molekylær kontaminering <1×10-⁷ g/cm²-min for halvleder- og legemiddelproduksjon.**

![Et diagram som beskriver renromsklassifiseringer (ISO klasse 1, klasse 5, klasse 10) med deres respektive grenser for partikkeltall og molekylær kontaminering, anbefalte kabelgjennomføringsmaterialer og eksempler på bruksområder, sammen med bransjespesifikke krav.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Cleanroom-Classifications-Cable-Gland-Materials.jpg)

Renromsklassifiseringer og materialer for kabelgjennomføringer

### ISO-klassifisering av renrom

**Krav til klasse 1 (ultrarent):**

- Partikkeltall: [0,1 μm](https://www.iso.org/standard/53394.html)[4](#fn-4)
- Molekylær forurensning: <1×10-⁹ g/cm²-min
- Materialer for kabelgjennomføringer: PTFE, PEEK, elektropolerte metaller
- Bruksområder: Avansert halvlederlitografi

**Krav til klasse 5 (standard ren):**

- Partikkelantall: 0,5 μm
- Molekylær forurensning: <1×10-⁷ g/cm²-min
- Materialer for kabelgjennomføringer: Polymerer med lav avgassing, behandlede metaller
- Bruksområder: Farmasøytisk produksjon, elektronikkmontering

**Krav til klasse 10 (moderat ren):**

- Antall partikler: 0,5 μm
- Molekylær forurensning: <1×10-⁶ g/cm²-min
- Materialer for kabelgjennomføringer: Standard polymerer med behandlinger
- Bruksområder: Produksjon av medisinsk utstyr

### Bransjespesifikke krav

**Halvlederproduksjon:**

- Grenser for luftbåren molekylær forurensning (AMC)
- Metallionforurensning <1×10¹⁰ atomer/cm²
- Organisk forurensning <1×10¹⁵ molekyler/cm²
- Krav til partikkelstørrelsesfordeling

**Farmasøytisk produksjon:**

- USP-klassestandarder for steril produksjon
- Grenser for biologisk belastning og endotoksiner
- Kjemisk kompatibilitet med rengjøringsmidler
- Krav til validering og dokumentasjon

**Luft- og romfart og forsvar:**

- MIL-STD-1246 renhetsnivåer
- Krav til kontroll av kontaminering av romfartøyer
- Testing av termisk vakuumstabilitet
- Langsiktig oppdragspålitelighet

Jeg jobbet med Ahmed, som leder et farmasøytisk produksjonsanlegg i Dubai i De forente arabiske emirater, der de trengte kabelgjennomføringer for steril fylling som krever ISO klasse 5-forhold med ytterligere krav til biokompatibilitet.

Ahmeds anlegg krevde omfattende materialtesting og validering for å sikre at kabelgjennomføringer oppfylte både renhets- og myndighetskrav for farmasøytisk produksjon.

### Hensyn til installasjon og vedlikehold

**Installasjonsprotokoller:**

- Renromskompatibel emballasje
- Kontamineringsfrie håndteringsprosedyrer
- Rengjøring og inspeksjon før installasjon
- Krav til dokumentasjon og sporbarhet

**Krav til vedlikehold:**

- Planer for periodisk rengjøring og inspeksjon
- Kriterier og prosedyrer for utskiftning
- Programmer for overvåking av forurensning
- Testing av ytelsesverifisering

**Kvalitetssikring:**

- Materialsertifisering og dokumentasjon
- Prosedyrer for installasjonskvalifisering (IQ)
- Testing av driftskvalifisering (OQ)
- Validering av ytelseskvalifisering (PQ)

## Hvordan velger du kabelgjennomføringer for applikasjoner med ultrahøyt vakuum?

Ultrahøyvakuumsystemer krever spesialdesignede kabelgjennomføringer og materialer for å oppnå trykk under 1×10-⁹ torr.

**UHV-kabelgjennomføringer må ha en helmetallkonstruksjon med PTFE- eller keramisk isolasjon som oppnår lekkasjerater <1×10-¹⁰ atm-cc/s helium, samtidig som den elektriske ytelsen opprettholdes og gir pålitelig tetning gjennom flere termiske sykluser fra -196 °C til +450 °C bakeout-temperaturer.**

### Krav til UHV-design

**Vakuumytelse:**

- Basistrykk: <1×10-⁹ torr oppnåelig
- Lekkasjerate: [<1×10-¹⁰ atm-cc/s helium](https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/)[5](#fn-5)
- Utgassingshastighet: <1×10-¹² torr-L/s-cm²
- Kapasitet for termisk sykling: -196 °C til +450 °C

**Valg av materiale:**

- Konstruksjon i 316L rustfritt stål
- PTFE eller keramisk elektrisk isolasjon
- Tetningsgrensesnitt metall mot metall
- Elektropolert overflatebehandling

**Designfunksjoner:**

- Conflat (CF)-flenser for UHV-kompatibilitet
- Knivkantforsegling med kobberpakninger
- Minimalt innvendig volum og overflateareal
- Kan stekes til 450 °C for kondisjonering

### Hensyn til elektrisk ytelse

**Krav til isolasjon:**

- Gjennomslagsstyrke ved høy spenning
- Lav lekkasjestrøm <1 nA
- Temperaturstabilitet over hele driftsområdet
- Strålingsbestandighet for spesifikke bruksområder

**Ledende materialer:**

- Oksygenfritt kobber for lav avgassing
- Sølv- eller gullbelegg for korrosjonsbestandighet
- Kontrollert tilpasning av termisk ekspansjon
- Mekanisk avlastningsdesign

**Skjerming og EMC:**

- Kontinuerlig skjermingsvei gjennom gjennomføringen
- Jordingstilkoblinger med lav impedans
- Minimale elektromagnetiske forstyrrelser
- Kompatibilitet med sensitive målinger

### Eksempler på bruksområder

**Partikkelakseleratorer:**

- Krav til ultrahøyt vakuum
- Omgivelser med høy stråling
- Presis elektrisk ytelse
- Langsiktige behov for pålitelighet

**Utstyr for overflateanalyse:**

- Elektronspektroskopisystemer
- Analyseverktøy for ionestråler
- Skannende sondemikroskop
- Anvendelser innen massespektrometri

**Romsimuleringskamre:**

- Termisk vakuumtesting
- Kontamineringssensitive nyttelaster
- Oppdrag med lang varighet
- Syklisk bruk ved ekstreme temperaturer

Bepto tilbyr spesialiserte UHV-kabelgjennomføringsløsninger som er utviklet og testet spesielt for bruk i ultrahøyt vakuum, noe som sikrer pålitelig ytelse i de mest krevende forsknings- og industrimiljøene.

## Konklusjon

Valg av riktig kabelgjennomføringsmateriale for renrom og vakuum er avgjørende for å forhindre kontaminering som kan kompromittere sensitive prosesser og utstyr. PTFE og PEEK har de laveste avgassingshastighetene for ultrarene miljøer, mens spesialbehandlede elastomerer gir den nødvendige tetningsevnen. Forståelse av renromsklassifiseringer og vakuumkrav bidrar til å sikre riktig materialvalg, der ISO-klasse 1 krever de strengeste materialene og UHV-applikasjoner krever en konstruksjon helt i metall. Standardiserte testmetoder som ASTM E595 gir pålitelige kvalifiseringsdata, mens riktige installasjons- og vedlikeholdsprosedyrer opprettholder langsiktig ytelse. Hos Bepto kombinerer vi omfattende materialekspertise med omfattende testkapasitet for å levere kabelgjennomføringsløsninger som oppfyller de mest krevende kravene til renhet og vakuum. Husk at ved å investere i riktige materialer med lav avgassing i dag, unngår du kostbare forurensningsproblemer og produksjonsforsinkelser i morgen! 😉.

## Vanlige spørsmål om avgassingsfattige materialer til kabelgjennomføringer

### **Spørsmål: Hvilken avgassingshastighet trenger jeg for kabelgjennomføringer i renrom?**

**A:** ISO-klasse 1 renrom krever avgassingshastigheter under 1×10-⁹ g/cm²-min, mens klasse 5-miljøer tillater opptil 1×10-⁷ g/cm²-min. PTFE- og PEEK-materialer oppfyller vanligvis disse kravene med riktig behandling og håndtering.

### **Spørsmål: Kan standard kabelgjennomføringer brukes i vakuumapplikasjoner?**

**A:** Standard kabelgjennomføringer med konvensjonelle elastomerer og ubehandlede overflater er uegnet for bruk i vakuum på grunn av høy avgassing. Spesialiserte materialer med lav avgassing og vakuumkompatible konstruksjoner kreves for trykk under 1×10-⁶ torr.

### **Spørsmål: Hvordan tester jeg avgassingsegenskapene til kabelgjennomføringsmaterialer?**

**A:** Bruk ASTM E595 for screeningtester som måler totalt massetap (TML) og innsamlede flyktige kondenserbare materialer (CVCM). For vakuumapplikasjoner gir ASTM F1408 målinger av avgassingshastighet. Godta materialer med TML <1,0% og CVCM <0,1% for kritiske bruksområder.

### **Spørsmål: Hva er forskjellen mellom kravene til renrom og vakuumkabelgjennomføringer?**

**A:** I renrom fokuserer man på partikkelgenerering og molekylær kontaminering ved atmosfærisk trykk, mens man i vakuumanlegg legger vekt på avgassingshastigheter og lekkasjetetthet ved redusert trykk. Vakuumsystemer krever vanligvis strengere materialspesifikasjoner og konstruksjon helt i metall.

### **Spørsmål: Hvor lenge opprettholder kabelgjennomføringer med lav avgassing ytelsen sin?**

**A:** Riktig valgte og installerte kabelgjennomføringer med lav avgassing opprettholder ytelsen i 5-10 år i renrom og 10-20 år i vakuumsystemer. Regelmessig overvåking og vedlikehold i henhold til anleggets protokoller sikrer fortsatt overholdelse av renhetskravene.

1. “NASAs avgassingsdatabase”, `https://outgassing.nasa.gov/`. Tilbyr standardiserte TML- og CVCM-data for polymerer av romfartskvalitet, inkludert PTFE og PEEK. Bevisrolle: statistikk; Kildetype: offentlig. Støtter: PTFE- og PEEK-kabelgjennomføringer har de laveste avgassingshastighetene på <1×10-⁸ torr-L/s-cm² for vakuumanvendelser. [↩](#fnref-1_ref)
2. “Avgassing i vakuumsystemer”, `https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing`. Forklarer de termodynamiske prinsippene og Arrhenius-oppførselen til molekylær desorpsjon i vakuummiljøer. Bevisrolle: mekanisme; Kildetype: forskning. Støtter: Utgassingshastigheten dobles for hver 10 °C økning. [↩](#fnref-2_ref)
3. “ASTM E595 - Standard testmetode for totalt massetap”, `https://www.astm.org/e0595-15r21.html`. Beskriver den offisielle 125 °C termiske vakuumtestprosedyren for evaluering av materialets avgassingsegenskaper. Bevisrolle: general_support; Kildetype: standard. Støtter: ASTM E595 og NASA SP-R-0022A gir standardiserte testmetoder for måling av totalt massetap (TML) og innsamlede flyktige kondenserbare materialer (CVCM). [↩](#fnref-3_ref)
4. “ISO 14644-1:2015 Renrom og tilhørende kontrollerte miljøer”, `https://www.iso.org/standard/53394.html`. Definerer strenge grenser for konsentrasjon av luftbårne partikler for produksjonsanlegg i klasse 1 til 9. Bevisrolle: statistikk; Kildetype: standard. Støtter: Partikkelantall: 0,1 μm. [↩](#fnref-4_ref)
5. “Grunnleggende om heliumlekkasjetesting”, `https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/`. Beskriver massespektrometri-teknikkene som kreves for å verifisere UHV-tetninger ved størrelser under 10-¹⁰ atm-cc/s. Bevisrolle: generell_støtte; Kildetype: industri. Støtter: Lekkasjehastighet: <1×10-¹⁰ atm-cc/s helium. [↩](#fnref-5_ref)
