# Quali sono i materiali per pressacavi che offrono il minor degassamento per le applicazioni in camera bianca e sotto vuoto? > Fonte: https://chinacableglands.com/it/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/ > Published: 2026-03-06T01:37:50+00:00 > Modified: 2026-05-13T01:31:28+00:00 > Agent JSON: https://chinacableglands.com/it/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.json > Agent Markdown: https://chinacableglands.com/it/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.md ## Sintesi La scelta di materiali per pressacavi a basso degassamento è essenziale per prevenire la contaminazione molecolare nelle camere bianche e nei sistemi ad altissimo vuoto. Questa guida tecnica esplora i meccanismi del degassamento, confronta le prestazioni dei polimeri PTFE e PEEK e illustra i rigorosi test ASTM E595 necessari per soddisfare i severi standard di... ## Articolo ![Polietere Etere Chetone](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Polyether-Ether-Ketone-1024x325.jpg) Polietere Etere Chetone ## Introduzione La contaminazione molecolare dovuta al degassamento dei materiali dei pressacavi può distruggere i wafer dei semiconduttori, compromettere i rivestimenti ottici e contaminare i sistemi ad altissimo vuoto, causando milioni di perdite di prodotto e ritardi nella ricerca quando i composti organici volatili superano le soglie critiche di pulizia in ambienti di produzione sensibili. **[I materiali per pressacavi in PTFE e PEEK dimostrano i più bassi tassi di degassamento a <1×10-⁸ torr-L/s-cm² per applicazioni sotto vuoto](https://outgassing.nasa.gov/)[1](#fn-1), mentre gli elastomeri a basso degassamento appositamente formulati e i componenti metallici garantiscono prestazioni di tenuta affidabili in ambienti puliti che richiedono standard di pulizia ISO Classe 1-5.** Dopo dieci anni di collaborazione con fabbriche di semiconduttori, produttori aerospaziali e istituti di ricerca, ho imparato che la scelta dei materiali giusti per i pressacavi a basso degassamento non riguarda solo il rispetto delle specifiche, ma anche la prevenzione di contaminazioni che possono bloccare intere linee di produzione o compromettere progetti di ricerca critici. ## Indice dei contenuti - [Cosa provoca il degassamento nei materiali dei pressacavi?](#what-causes-outgassing-in-cable-gland-materials) - [Quali sono i materiali con il minor tasso di degassamento?](#which-materials-provide-the-lowest-outgassing-rates) - [Come si testano e si misurano le prestazioni di degassamento?](#how-do-you-test-and-measure-outgassing-performance) - [Quali sono i requisiti per le diverse classificazioni delle camere bianche?](#what-are-the-requirements-for-different-cleanroom-classifications) - [Come si scelgono i pressacavi per le applicazioni ad altissimo vuoto?](#how-do-you-select-cable-glands-for-ultra-high-vacuum-applications) - [Domande frequenti sui materiali dei pressacavi a bassa emissione di gas nocivi](#faqs-about-low-outgassing-cable-gland-materials) ## Cosa provoca il degassamento nei materiali dei pressacavi? La comprensione dei meccanismi di degassamento è essenziale per la selezione dei materiali appropriati per le applicazioni in camera bianca e sotto vuoto. **Il degassamento si verifica quando i composti organici volatili, i plastificanti e l'umidità assorbita migrano dai materiali dei pressacavi nell'ambiente circostante, con tassi di emissione che aumentano esponenzialmente con la temperatura e la diminuzione della pressione, creando una contaminazione molecolare che può compromettere processi e apparecchiature sensibili.** ![Un diagramma che illustra i meccanismi di degassamento nelle applicazioni in camera bianca e sotto vuoto, mostrando i composti organici volatili che fuoriescono da un pressacavo, con indicazioni sulle fonti primarie di degassamento e sugli effetti ambientali, tutti influenzati da temperatura e pressione.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Outgassing-Mechanisms-Cleanroom-Vacuum-Applications.jpg) Meccanismi di degassamento - Applicazioni in camera bianca e sotto vuoto ### Fonti primarie di degassamento **Additivi per polimeri:** - I plastificanti migliorano la flessibilità ma aumentano il degasaggio - Gli antiossidanti impediscono la degradazione, ma possono volatilizzarsi. - Coadiuvanti tecnologici e agenti distaccanti - I coloranti e gli stabilizzatori UV contribuiscono alle emissioni **Residui di produzione:** - Residui di solventi dalla lavorazione - Monomeri e oligomeri non reattivi - Resti di catalizzatori e iniziatori - Contaminazione superficiale da manipolazione Ho lavorato con la dottoressa Sarah Chen, ingegnere di processo presso una fabbrica di semiconduttori nella Silicon Valley, dove i pressacavi standard in nylon causavano una contaminazione da particelle nella camera bianca di Classe 1, con conseguente perdita di rendimento di 15% su chip logici avanzati. ### Fattori ambientali **Effetti della temperatura:** - [Il tasso di degassamento raddoppia ogni 10°C di aumento.](https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing)[2](#fn-2) - I cicli termici accelerano il rilascio di volatili - La cottura ad alta temperatura riduce le emissioni a lungo termine - L'energia di attivazione determina la sensibilità alla temperatura **Influenza della pressione:** - Una pressione più bassa aumenta la forza motrice del degassamento. - Le condizioni di vuoto impediscono il riassorbimento - Il regime di flusso molecolare influisce sul trasferimento di massa - La velocità di pompaggio influisce sulle concentrazioni di equilibrio **Dipendenze temporali:** - Raffica iniziale di alti tassi di degassamento - Declino graduale secondo la legge di potenza - Emissioni a lungo termine allo stato stazionario - Effetti dell'invecchiamento sulle proprietà del materiale Il laboratorio del Dr. Chen ha richiesto un processo completo di valutazione e selezione dei materiali per identificare i materiali dei pressacavi con tassi di degassamento inferiori a 1×10-⁹ torr-L/s-cm² per mantenere i requisiti critici di pulizia. ### Meccanismi di contaminazione **Assorbimento superficiale:** - I composti volatili si condensano sulle superfici fredde - Gli strati molecolari si accumulano nel tempo - Il desorbimento crea una contaminazione secondaria - Le temperature superficiali critiche influenzano la condensazione **Reazioni chimiche:** - Le specie esalate reagiscono con le sostanze chimiche di processo - Effetti catalitici su superfici sensibili - Corrosione e incisione dei componenti ottici - Formazione di residui non volatili **Generazione di particolato:** - La degradazione del polimero crea particelle - Lo stress termico provoca il distacco di materiale - L'usura meccanica genera detriti - L'attrazione elettrostatica concentra le particelle ## Quali sono i materiali con il minor tasso di degassamento? La selezione dei materiali è fondamentale per ottenere prestazioni a bassissimo degassamento nelle applicazioni più esigenti. **I polimeri PTFE, PEEK e PPS offrono tassi di degassamento inferiori a 1×10-⁸ torr-L/s-cm², mentre gli elastomeri EPDM e FKM appositamente lavorati offrono capacità di tenuta con tassi inferiori a 1×10-⁷ torr-L/s-cm² e i componenti in acciaio inox elettrolucidato contribuiscono a ridurre al minimo la contaminazione nei sistemi a vuoto.** ### Prestazioni del materiale polimerico **Polimeri a bassissimo degassamento:** | Materiale | Tasso di degassamento (torr-L/s-cm²) | Limite di temperatura | Vantaggi principali | Applicazioni | | PTFE | | 260°C | Inerte dal punto di vista chimico, a basso attrito | UHV, semiconduttore | | SETTIMANA | | 250°C | Alta resistenza, resistente alle radiazioni | Aerospaziale, ricerca | | PPS | | 220°C | Buona resistenza chimica | Automotive, elettronica | | PI (poliimmide) | | 300°C | Stabilità alle alte temperature | Applicazioni spaziali | **Opzioni di elastomero:** - EPDM a basso degassamento: <1×10-⁷ torr-L/s-cm² - FKM appositamente trattato: <5×10-⁷ torr-L/s-cm² - Perfluoroelastomero: <1×10-⁸ torr-L/s-cm² - Silicone (grado a basso degassamento): <1×10-⁶ torr-L/s-cm² ### Considerazioni sui componenti metallici **Gradi di acciaio inossidabile:** - 316L elettrolucidato: <1×10-¹⁰ torr-L/s-cm² - 304 finitura standard: <1×10-⁹ torr-L/s-cm² - Il trattamento di passivazione riduce il degasaggio - La rugosità della superficie influisce sui tassi di emissione **Metalli alternativi:** - Leghe di alluminio con finitura anodizzata - Titanio per ambienti corrosivi - Inconel per applicazioni ad alta temperatura - Rame per requisiti elettrici specifici Ricordo di aver lavorato con Hans, un ingegnere di sistemi per il vuoto presso una struttura di ricerca a Monaco, in Germania, dove servivano dei pressacavi per una linea di fascio di un acceleratore di particelle che richiedeva condizioni di altissimo vuoto, al di sotto di 1×10-¹¹ torr. L'applicazione di Hans richiedeva pressacavi interamente in metallo con isolamento in PTFE e guarnizioni appositamente elaborate per raggiungere i livelli di vuoto richiesti senza compromettere le prestazioni elettriche. ### Effetti della lavorazione e del trattamento **Preparazione della superficie:** - L'elettrolucidatura riduce la superficie - La pulizia chimica rimuove i contaminanti - I trattamenti di passivazione migliorano la stabilità - Trattamento in atmosfera controllata **Condizionamento termico:** - Bakeout sotto vuoto a temperatura elevata - Rimuove i composti volatili e l'umidità - Invecchiamento accelerato per la stabilità - Test di verifica del controllo qualità **Garanzia di qualità:** - Certificazione e tracciabilità dei materiali - Test in batch per le prestazioni di degassamento - Controllo statistico dei processi - Imballaggio e manipolazione privi di contaminazione ## Come si testano e si misurano le prestazioni di degassamento? I metodi di prova standardizzati garantiscono una misurazione affidabile dei tassi di degassamento per la qualificazione dei materiali. **[ASTM E595 e NASA SP-R-0022A forniscono metodi di prova standardizzati per la misurazione della perdita di massa totale (TML) e dei materiali volatili condensabili raccolti (CVCM).](https://www.astm.org/e0595-15r21.html)[3](#fn-3), con criteri di accettazione di TML <1,0% e CVCM <0,1% per applicazioni su veicoli spaziali, mentre ASTM F1408 misura i tassi di degassamento per applicazioni sotto vuoto.** ### Metodi di prova standard **Test di screening ASTM E595:** - Esposizione di 24 ore a 125°C sotto vuoto - Misura la perdita di massa totale (TML) - Raccoglie i materiali volatili condensabili (CVCM) - Criteri di accettazione/errore per le applicazioni spaziali - Standard di settore ampiamente accettato **ASTM F1408 Misura del tasso:** - Monitoraggio continuo del tasso di degassamento - Caratterizzazione della dipendenza dalla temperatura e dal tempo - Adatto alla progettazione di sistemi a vuoto - Fornisce dati cinetici per la modellazione **Protocolli di test personalizzati:** - Profili di temperatura specifici per le applicazioni - Test di durata prolungata - Analisi chimica delle specie degassate - Valutazione della sensibilità alla contaminazione ### Apparecchiature e procedure di test **Sistemi a vuoto:** - Camere di prova ad altissimo vuoto - Analizzatori di gas residui (RGA) - Spettrometri di massa a quadrupolo - Sistemi di misurazione della pressione **Preparazione del campione:** - Taglio e manipolazione controllati - Misura della superficie - Procedure di precondizionamento - Protocolli di prevenzione della contaminazione **Analisi dei dati:** - Calcoli del tasso di degassamento - Analisi statistica dei risultati - Modellazione Arrhenius per gli effetti della temperatura - Previsioni di vita ed estrapolazione ### Applicazioni del controllo qualità **Qualificazione del materiale:** - Requisiti di certificazione dei fornitori - Verifica della coerenza da lotto a lotto - Test di convalida del processo - Valutazione della stabilità a lungo termine **Monitoraggio della produzione:** - Piani di campionamento statistico - Analisi delle tendenze e carte di controllo - Indagine sulle non conformità - Programmi di miglioramento continuo Bepto collabora con laboratori di prova certificati per fornire una caratterizzazione completa del degassamento per tutti i suoi prodotti di pressacavi compatibili con le camere bianche e il vuoto. ## Quali sono i requisiti per le diverse classificazioni delle camere bianche? Le classificazioni delle camere bianche stabiliscono i requisiti specifici dei materiali e le misure di controllo della contaminazione. **Le camere bianche ISO di Classe 1 richiedono materiali per pressacavi con generazione di particelle 0,1μm e contaminazione molecolare <1×10-⁹ g/cm²-min, mentre gli ambienti di Classe 5 consentono limiti più elevati di 0,5μm e contaminazione molecolare <1×10-⁷ g/cm²-min per la produzione di semiconduttori e farmaceutica.** ![Un diagramma che illustra le classificazioni delle camere bianche (ISO Classe 1, Classe 5, Classe 10) con i rispettivi limiti di conteggio delle particelle e di contaminazione molecolare, i materiali consigliati per i pressacavi e gli esempi di applicazione, oltre ai requisiti specifici del settore.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Cleanroom-Classifications-Cable-Gland-Materials.jpg) Classificazioni delle camere bianche e materiali dei pressacavi ### Classificazioni ISO per camere bianche **Requisiti di Classe 1 (Ultra-Clean):** - Conteggio delle particelle: [0,1μm](https://www.iso.org/standard/53394.html)[4](#fn-4) - Contaminazione molecolare: <1×10-⁹ g/cm²-min - Materiali dei pressacavi: PTFE, PEEK, metalli elettrolucidati - Applicazioni: Litografia avanzata dei semiconduttori **Requisiti di Classe 5 (Standard Clean):** - Conteggio delle particelle: 0,5μm - Contaminazione molecolare: <1×10-⁷ g/cm²-min - Materiali dei pressacavi: Polimeri a basso degassamento, metalli trattati - Applicazioni: Produzione farmaceutica, assemblaggio elettronico **Requisiti di Classe 10 (Moderate Clean):** - Numero di particelle: 0,5μm - Contaminazione molecolare: <1×10-⁶ g/cm²-min - Materiali dei pressacavi: Polimeri standard con trattamenti - Applicazioni: Produzione di dispositivi medici ### Requisiti specifici del settore **Produzione di semiconduttori:** - Limiti di contaminazione molecolare aerodispersa (AMC) - Contaminazione da ioni metallici <1×10¹⁰ atomi/cm² - Contaminazione organica <1×10¹⁵ molecole/cm² - Requisiti della distribuzione granulometrica **Produzione farmaceutica:** - Standard di classe USP per la produzione sterile - Limiti di bioburden e di endotossine - Compatibilità chimica con i detergenti - Requisiti di convalida e documentazione **Aerospaziale e difesa:** - Livelli di pulizia MIL-STD-1246 - Requisiti di controllo della contaminazione del veicolo spaziale - Test di stabilità termica sotto vuoto - Affidabilità della missione a lungo termine Ho lavorato con Ahmed, che dirige uno stabilimento di produzione farmaceutica a Dubai, negli Emirati Arabi Uniti, e che aveva bisogno di pressacavi per le operazioni di riempimento sterile che richiedevano condizioni ISO di Classe 5 con requisiti aggiuntivi di biocompatibilità. La struttura di Ahmed ha richiesto test approfonditi sui materiali e la convalida per garantire la conformità dei pressacavi ai requisiti di pulizia e normativi per la produzione farmaceutica. ### Considerazioni sull'installazione e sulla manutenzione **Protocolli di installazione:** - Imballaggio compatibile con la camera bianca - Procedure di manipolazione prive di contaminazione - Pulizia e ispezione pre-installazione - Requisiti di documentazione e tracciabilità **Requisiti di manutenzione:** - Programmi di pulizia e ispezione periodica - Criteri e procedure di sostituzione - Programmi di monitoraggio della contaminazione - Test di verifica delle prestazioni **Garanzia di qualità:** - Certificazione e documentazione dei materiali - Procedure di qualificazione dell'installazione (IQ) - Test di qualificazione operativa (OQ) - Convalida della qualificazione delle prestazioni (PQ) ## Come si scelgono i pressacavi per le applicazioni ad altissimo vuoto? I sistemi ad altissimo vuoto richiedono design e materiali speciali per i pressioni inferiori a 1×10-⁹ torr. **I pressacavi UHV devono essere costruiti interamente in metallo con isolamento in PTFE o ceramica, raggiungendo tassi di perdita <1×10-¹⁰ atm-cc/s di elio, mantenendo le prestazioni elettriche e garantendo una tenuta affidabile attraverso molteplici cicli termici da -196°C a +450°C di temperatura di bakeout.** ### Requisiti di progettazione UHV **Prestazioni del vuoto:** - Pressione di base: <1×10-⁹ torr raggiungibile - Tasso di perdita: [<1×10-¹⁰ atm-cc/s elio](https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/)[5](#fn-5) - Tasso di degassamento: <1×10-¹² torr-L/s-cm² - Capacità di ciclaggio termico: da -196°C a +450°C **Selezione del materiale:** - Costruzione in acciaio inox 316L - Isolamento elettrico in PTFE o ceramica - Interfacce di tenuta metallo-metallo - Finiture superficiali elettrolucidate **Caratteristiche del progetto:** - Flange Conflat (CF) per la compatibilità UHV - Guarnizione a lama di coltello con guarnizioni in rame - Volume interno e superficie minimi - Infornabile a 450°C per il condizionamento ### Considerazioni sulle prestazioni elettriche **Requisiti di isolamento:** - Resistenza alla rottura ad alta tensione - Bassa corrente di dispersione <1 nA - Stabilità di temperatura nell'intervallo di funzionamento - Resistenza alle radiazioni per applicazioni specifiche **Materiali conduttori:** - Rame privo di ossigeno per un basso livello di degassamento - Placcatura in argento o oro per la resistenza alla corrosione - Corrispondenza dell'espansione termica controllata - Design di scarico delle sollecitazioni meccaniche **Schermatura e CEM:** - Percorso di schermatura continuo attraverso il passante - Collegamenti di terra a bassa impedenza - Interferenze elettromagnetiche minime - Compatibilità con misure sensibili ### Esempi di applicazione **Acceleratori di particelle:** - Requisiti per il vuoto spinto - Ambienti ad alta radiazione - Prestazioni elettriche precise - Esigenze di affidabilità a lungo termine **Apparecchiature per l'analisi delle superfici:** - Sistemi di spettroscopia elettronica - Strumenti di analisi del fascio ionico - Microscopi a sonda a scansione - Applicazioni della spettrometria di massa **Camere di simulazione spaziale:** - Test di vuoto termico - Carichi utili sensibili alla contaminazione - Missioni di lunga durata - Cicli a temperature estreme Bepto offre soluzioni specializzate di pressacavi UHV progettate e testate specificamente per applicazioni in ultra alto vuoto, garantendo prestazioni affidabili negli ambienti industriali e di ricerca più esigenti. ## Conclusione La scelta dei giusti materiali per i pressacavi per le applicazioni in camera bianca e sotto vuoto è fondamentale per prevenire la contaminazione che può compromettere processi e apparecchiature sensibili. Il PTFE e il PEEK offrono i tassi di degassamento più bassi per gli ambienti ultra-puliti, mentre gli elastomeri appositamente lavorati garantiscono le prestazioni di tenuta necessarie. La comprensione delle classificazioni delle camere bianche e dei requisiti di vuoto aiuta a garantire una scelta corretta dei materiali, con la Classe 1 ISO che richiede i materiali più severi e le applicazioni UHV che richiedono una struttura interamente metallica. I metodi di prova standardizzati, come l'ASTM E595, forniscono dati di qualificazione affidabili, mentre le procedure di installazione e manutenzione corrette garantiscono prestazioni a lungo termine. In Bepto, combiniamo un'ampia esperienza nei materiali con capacità di test complete per fornire soluzioni di pressacavi che soddisfano i requisiti di pulizia e di vuoto più esigenti. Ricordate: investire oggi in materiali adeguati a basso degassamento previene costosi problemi di contaminazione e ritardi nella produzione domani! 😉 ## Domande frequenti sui materiali dei pressacavi a bassa emissione di gas nocivi ### **D: Quale tasso di degassamento è necessario per i pressacavi per camera bianca?** **A:** Le camere bianche di Classe 1 ISO richiedono tassi di degassamento inferiori a 1×10-⁹ g/cm²-min, mentre gli ambienti di Classe 5 consentono fino a 1×10-⁷ g/cm²-min. I materiali PTFE e PEEK raggiungono in genere questi requisiti con una lavorazione e una manipolazione adeguate. ### **D: I pressacavi standard possono essere utilizzati in applicazioni sotto vuoto?** **A:** I pressacavi standard con elastomeri convenzionali e superfici non trattate non sono adatti alle applicazioni sotto vuoto a causa degli elevati tassi di degassamento. Per pressioni inferiori a 1×10-⁶ torr sono necessari materiali speciali a basso degassamento e design compatibili con il vuoto. ### **D: Come si testano i materiali dei pressacavi per verificare le prestazioni di degassamento?** **A:** Utilizzare la norma ASTM E595 per i test di screening che misurano la perdita di massa totale (TML) e i materiali volatili condensabili raccolti (CVCM). Per le applicazioni sotto vuoto, l'ASTM F1408 fornisce misure del tasso di degassamento. Accettare materiali con TML <1,0% e CVCM <0,1% per applicazioni critiche. ### **D: Qual è la differenza tra i requisiti dei pressacavi per camera bianca e per vuoto?** **A:** Le applicazioni in camera bianca si concentrano sulla generazione di particelle e sulla contaminazione molecolare a pressione atmosferica, mentre le applicazioni in vuoto sottolineano i tassi di degassamento e la tenuta a pressione ridotta. I sistemi per il vuoto richiedono in genere specifiche di materiali più rigorose e una costruzione interamente in metallo. ### **D: Per quanto tempo i pressacavi a basso degassamento mantengono le loro prestazioni?** **A:** I pressacavi a basso degassamento selezionati e installati correttamente mantengono le prestazioni per 5-10 anni nelle applicazioni in camera bianca e per 10-20 anni nei sistemi sotto vuoto. Il monitoraggio e la manutenzione regolari, secondo i protocolli della struttura, garantiscono la costante conformità ai requisiti di pulizia. 1. “Database della NASA sul degassamento”, `https://outgassing.nasa.gov/`. Fornisce dati TML e CVCM standardizzati per polimeri di grado aerospaziale, tra cui PTFE e PEEK. Ruolo dell'evidenza: statistica; Tipo di fonte: governo. Supporta: I materiali per pressacavi in PTFE e PEEK dimostrano i più bassi tassi di degassamento a <1×10-⁸ torr-L/s-cm² per le applicazioni sotto vuoto. [↩](#fnref-1_ref) 2. “Degassamento nei sistemi a vuoto”, `https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing`. Spiega i principi termodinamici e il comportamento Arrheniano del desorbimento molecolare in ambienti sotto vuoto. Ruolo dell'evidenza: meccanismo; Tipo di fonte: ricerca. Supporta: Il tasso di degassamento raddoppia ogni 10°C di aumento. [↩](#fnref-2_ref) 3. “ASTM E595 - Metodo di prova standard per la perdita di massa totale”, `https://www.astm.org/e0595-15r21.html`. Illustra la procedura ufficiale di prova sotto vuoto termico a 125°C per la valutazione delle caratteristiche di degassamento dei materiali. Evidence role: general_support; Source type: standard. Supporta: ASTM E595 e NASA SP-R-0022A forniscono metodi di prova standardizzati per la misurazione della perdita di massa totale (TML) e dei materiali volatili condensabili raccolti (CVCM). [↩](#fnref-3_ref) 4. “ISO 14644-1:2015 Camere bianche e ambienti controllati associati”, `https://www.iso.org/standard/53394.html`. Definisce limiti rigorosi di concentrazione del particolato aerodisperso per le strutture produttive di Classe 1 - Classe 9. Ruolo dell'evidenza: statistica; Tipo di fonte: norma. Supporta: Conteggio delle particelle: 0,1μm. [↩](#fnref-4_ref) 5. “Fondamenti dei test di tenuta dell'elio”, `https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/`. Dettagli sulle tecniche di spettrometria di massa necessarie per verificare le tenute UHV a grandezze inferiori a 10-¹⁰ atm-cc/s. Ruolo dell'evidenza: general_support; Tipo di fonte: industry. Supporta: Tasso di perdita: <1×10-¹⁰ atm-cc/s di elio. [↩](#fnref-5_ref)