# Které materiály kabelových vývodek mají nejnižší úroveň zplodin pro aplikace v čistých prostorách a vakuu? > Zdroj:: https://chinacableglands.com/cs/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/ > Published: 2026-03-06T01:37:50+00:00 > Modified: 2026-05-13T01:31:28+00:00 > Agent JSON: https://chinacableglands.com/cs/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.json > Agent Markdown: https://chinacableglands.com/cs/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.md ## Summary Výběr materiálů kabelových vývodek s nízkým obsahem plynů je zásadní pro prevenci molekulární kontaminace v čistých prostorech a systémech s ultravysokým vakuem. Tato technická příručka zkoumá mechanismy odplyňování, porovnává výkonnost polymerů PTFE a PEEK a podrobně popisuje přísné testování podle normy ASTM E595, které je nutné pro splnění přísných klasifikačních norem ISO. ## Article ![Polyether ether keton](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Polyether-Ether-Ketone-1024x325.jpg) Polyether ether keton ## Úvod Molekulární kontaminace z odplyněných materiálů kabelových vývodek může zničit polovodičové destičky, ohrozit optické povlaky a kontaminovat ultravysokovakuové systémy, což způsobuje milionové ztráty výrobků a zpoždění výzkumu, pokud těkavé organické sloučeniny překročí kritické limity čistoty v citlivých výrobních prostředích. **[Materiály kabelových vývodek z PTFE a PEEK vykazují nejnižší míru odplynění <1×10-⁸ torr-L/s-cm² pro vakuové aplikace.](https://outgassing.nasa.gov/)[1](#fn-1), zatímco speciálně vyvinuté elastomery s nízkým obsahem plynů a kovové součásti zajišťují spolehlivé těsnění v prostředí čistých prostor vyžadujících normy čistoty ISO třídy 1-5.** Po deseti letech spolupráce s výrobnami polovodičů, leteckými výrobci a výzkumnými institucemi jsem se naučil, že výběr správných materiálů kabelových vývodek s nízkou úrovní plynatosti není jen o splnění specifikací - jde o prevenci kontaminace, která může zastavit celé výrobní linky nebo ohrozit kritické výzkumné projekty. ## Obsah - [Co způsobuje zplodiny v materiálech kabelových vývodek?](#what-causes-outgassing-in-cable-gland-materials) - [Které materiály mají nejnižší míru zplodin?](#which-materials-provide-the-lowest-outgassing-rates) - [Jak testujete a měříte odplynění?](#how-do-you-test-and-measure-outgassing-performance) - [Jaké jsou požadavky na různé klasifikace čistých prostor?](#what-are-the-requirements-for-different-cleanroom-classifications) - [Jak vybrat kabelové vývodky pro aplikace s ultravysokým vakuem?](#how-do-you-select-cable-glands-for-ultra-high-vacuum-applications) - [Často kladené otázky o materiálech kabelových vývodek s nízkou úrovní emisí plynů](#faqs-about-low-outgassing-cable-gland-materials) ## Co způsobuje zplodiny v materiálech kabelových vývodek? Pochopení mechanismů odplyňování je zásadní pro výběr vhodných materiálů pro aplikace v čistých prostorách a vakuu. **K odplyňování dochází, když těkavé organické sloučeniny, změkčovadla a absorbovaná vlhkost migrují z materiálů kabelových vývodek do okolního prostředí, přičemž rychlost emisí exponenciálně roste s teplotou a klesajícím tlakem, což vytváří molekulární kontaminaci, která může ohrozit citlivé procesy a zařízení.** ![Diagram znázorňující mechanismy odplyňování v čistých prostorách a vakuových aplikacích, znázorňující těkavé organické sloučeniny unikající z kabelové průchodky, s vyznačením primárních zdrojů odplyňování a vlivů prostředí, které jsou ovlivněny teplotou a tlakem.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Outgassing-Mechanisms-Cleanroom-Vacuum-Applications.jpg) Mechanismy odplyňování - aplikace v čistých prostorách a vakuu ### Primární zdroje zplodin **Polymerní aditiva:** - Plastifikátory zlepšují pružnost, ale zvyšují odplynování - Antioxidanty zabraňují degradaci, ale mohou se odpařovat. - Pomocné látky a prostředky pro uvolňování z forem - Barviva a UV stabilizátory přispívají k emisím **Zbytky z výroby:** - Zbytky rozpouštědel ze zpracování - Nezreagované monomery a oligomery - Zbytky katalyzátoru a iniciátoru - Povrchová kontaminace při manipulaci Spolupracoval jsem s Dr. Sarah Chenovou, procesní inženýrkou v továrně na polovodiče v Silicon Valley, kde standardní nylonové kabelové vývodky způsobovaly kontaminaci částicemi v čistých prostorách třídy 1, což vedlo ke ztrátě výtěžnosti 15% u pokročilých logických čipů. ### Faktory prostředí **Vliv teploty:** - [Rychlost vypouštění plynů se zdvojnásobuje s každým zvýšením teploty o 10 °C.](https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing)[2](#fn-2) - Tepelné cyklování urychluje uvolňování těkavých látek - Vysokoteplotní vypalování snižuje dlouhodobé emise - Aktivační energie určuje teplotní citlivost **Vliv tlaku:** - Nižší tlak zvyšuje hnací sílu pro odplyňování - Podmínky vakua zabraňují zpětné absorpci - Režim molekulárního proudění ovlivňuje přenos hmoty - Rychlost čerpání ovlivňuje rovnovážné koncentrace **Časové závislosti:** - Počáteční výbuch vysokých rychlostí vypouštění plynů - Postupný pokles podle mocninného zákona - Dlouhodobé emise v ustáleném stavu - Vliv stárnutí na vlastnosti materiálu Továrna Dr. Chena vyžadovala kompletní vyhodnocení a výběr materiálu, aby bylo možné identifikovat materiály kabelových vývodek s rychlostí odplyňování pod 1×10-⁹ torr-L/s-cm², aby byly dodrženy kritické požadavky na čistotu. ### Mechanismy kontaminace **Povrchová adsorpce:** - Těkavé sloučeniny kondenzují na chladných površích - Molekulární vrstvy se časem hromadí - Desorpcí vzniká sekundární kontaminace - Kritické povrchové teploty ovlivňují kondenzaci **Chemické reakce:** - Zplodiny reagují s procesními chemikáliemi - Katalytické účinky na citlivé povrchy - Koroze a leptání optických součástí - Tvorba netěkavých zbytků **Generování pevných částic:** - Degradace polymeru vytváří částice - Tepelné namáhání způsobuje vylučování materiálu - Mechanické opotřebení vytváří nečistoty - Elektrostatická přitažlivost koncentruje částice ## Které materiály mají nejnižší míru zplodin? Výběr materiálu je rozhodující pro dosažení velmi nízkých hodnot odplynění v náročných aplikacích. **Polymery PTFE, PEEK a PPS nabízejí rychlost odplyňování pod 1×10-⁸ torr-L/s-cm², zatímco speciálně zpracované elastomery EPDM a FKM zajišťují těsnost s rychlostí pod 1×10-⁷ torr-L/s-cm² a elektrolyticky leštěné součásti z nerezové oceli přispívají k minimální kontaminaci ve vakuových systémech.** ### Výkonnost polymerních materiálů **Polymery s velmi nízkým obsahem plynů:** | Materiál | Rychlost odplyňování (torr-L/s-cm²) | Teplotní limit | Hlavní výhody | Aplikace | | PTFE | | 260°C | Chemicky inertní, nízké tření | UHV, polovodiče | | PEEK | | 250°C | Vysoká pevnost, odolnost proti záření | Letectví a kosmonautika, výzkum | | PPS | | 220°C | Dobrá chemická odolnost | Automobilový průmysl, elektronika | | PI (polyimid) | | 300°C | Vysoká teplotní stabilita | Vesmírné aplikace | **Možnosti elastomeru:** - EPDM s nízkým obsahem plynů: <1×10-⁷ torr-L/s-cm² - Speciálně zpracované FKM: <5×10-⁷ torr-L/s-cm² - Perfluoroelastomer: <1×10-⁸ torr-L/s-cm² - Silikon (nízkoemisní): <1×10-⁶ torr-L/s-cm² ### Úvahy o kovových součástech **Třídy nerezové oceli:** - 316L elektrolyticky leštěný: <1×10-¹⁰ torr-L/s-cm² - Standardní povrchová úprava 304: <1×10-⁹ torr-L/s-cm² - Pasivační úprava snižuje odplyňování - Drsnost povrchu ovlivňuje míru emisí **Alternativní kovy:** - Hliníkové slitiny s eloxovanou povrchovou úpravou - Titan pro korozivní prostředí - Inconel pro vysokoteplotní aplikace - Měď pro specifické elektrické požadavky Vzpomínám si na spolupráci s Hansem, inženýrem vakuových systémů ve výzkumném zařízení v Mnichově v Německu, kde potřebovali kabelové vývodky pro svazkovou linku urychlovače částic, která vyžadovala podmínky ultravysokého vakua pod 1×10-¹¹ torrů. Hansova aplikace vyžadovala celokovové kabelové vývodky s teflonovou izolací a speciálně zpracovaná těsnění, aby bylo dosaženo požadované úrovně vakua bez snížení elektrického výkonu. ### Zpracování a účinky ošetření **Příprava povrchu:** - Elektrolýza snižuje plochu povrchu - Chemické čištění odstraňuje nečistoty - Pasivační ošetření zlepšuje stabilitu - Zpracování v řízené atmosféře **Tepelná klimatizace:** - Vakuové vypalování při zvýšené teplotě - Odstraňuje těkavé látky a vlhkost - Zrychlené stárnutí pro zajištění stability - Ověřovací zkoušky kontroly kvality **Zajištění kvality:** - Certifikace a sledovatelnost materiálu - Dávkové testování z hlediska odplynění - Statistické řízení procesů - Balení a manipulace bez kontaminace ## Jak testujete a měříte odplynění? Standardizované zkušební metody zajišťují spolehlivé měření rychlosti odplyňování pro kvalifikaci materiálu. **[Normy ASTM E595 a NASA SP-R-0022A poskytují standardizované zkušební metody pro měření celkových hmotnostních ztrát (TML) a shromážděných těkavých kondenzovatelných materiálů (CVCM).](https://www.astm.org/e0595-15r21.html)[3](#fn-3), s kritérii přijatelnosti TML <1,0% a CVCM <0,1% pro aplikace v kosmických lodích, zatímco norma ASTM F1408 měří míru odplynění pro aplikace ve vakuu.** ### Standardní zkušební metody **Screeningová zkouška podle normy ASTM E595:** - 24hodinová expozice při 125 °C ve vakuu - Měří celkovou ztrátu hmotnosti (TML) - Sbírá těkavé kondenzovatelné materiály (CVCM) - Kritéria vyhověl/nevyhověl pro vesmírné aplikace - Všeobecně uznávaný průmyslový standard **ASTM F1408 Měření rychlosti:** - Průběžné monitorování rychlosti odplyňování - Charakterizace teplotní a časové závislosti - Vhodné pro konstrukci vakuových systémů - Poskytuje kinetické údaje pro modelování **Vlastní testovací protokoly:** - Teplotní profily specifické pro danou aplikaci - Testování s prodlouženou dobou trvání - Chemická analýza zplodin - Hodnocení citlivosti na kontaminaci ### Testovací zařízení a postupy **Vakuové systémy:** - Zkušební komory s ultravysokým vakuem - Analyzátory zbytkových plynů (RGA) - Kvadrupólové hmotnostní spektrometry - Systémy měření tlaku **Příprava vzorku:** - Řízené řezání a manipulace - Měření plochy povrchu - Předkondiční postupy - Protokoly o prevenci kontaminace **Analýza dat:** - Výpočty míry vypouštění plynů - Statistická analýza výsledků - Arrheniův model pro teplotní efekty - Předpovědi a extrapolace životnosti ### Aplikace pro kontrolu kvality **Kvalifikace materiálu:** - Požadavky na certifikaci dodavatelů - Ověřování konzistence mezi jednotlivými šaržemi - Testování validace procesu - Hodnocení dlouhodobé stability **Monitorování výroby:** - Plány statistického výběru vzorků - Analýza trendů a kontrolní grafy - Vyšetřování neshod - Programy trvalého zlepšování Ve společnosti Bepto spolupracujeme s certifikovanými zkušebnami, které poskytují komplexní charakterizaci odplyňování pro všechny naše výrobky kabelových vývodek pro čisté prostory a vakuum. ## Jaké jsou požadavky na různé klasifikace čistých prostor? Klasifikace čistých prostor určuje specifické požadavky na materiály a opatření pro kontrolu kontaminace. **Čisté prostory ISO třídy 1 vyžadují materiály kabelových vývodek s tvorbou částic 0,1 μm a molekulární kontaminací <1×10-⁹ g/cm²-min, zatímco prostředí třídy 5 povoluje vyšší limity 0,5 μm a molekulární kontaminaci <1×10-⁷ g/cm²-min pro polovodičovou a farmaceutickou výrobu.** ![Schéma s klasifikací čistých prostor (ISO třída 1, třída 5, třída 10) s příslušnými limity počtu částic a molekulární kontaminace, doporučené materiály kabelových vývodek a příklady použití spolu s požadavky specifickými pro dané odvětví.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Cleanroom-Classifications-Cable-Gland-Materials.jpg) Klasifikace čistých prostor a materiály kabelových vývodek ### Klasifikace čistých prostor ISO **Požadavky třídy 1 (ultračisté):** - Počet částic: [0,1 μm](https://www.iso.org/standard/53394.html)[4](#fn-4) - Molekulární kontaminace: <1×10-⁹ g/cm²-min - Materiály kabelových vývodek: PTFE, PEEK, elektrolyticky leštěné kovy - Aplikace: Pokročilá polovodičová litografie **Požadavky třídy 5 (Standard Clean):** - Počet částic: 0,5 μm - Molekulární kontaminace: <1×10-⁷ g/cm²-min - Materiály kabelových vývodek: Nízkoemisní polymery, upravené kovy - Aplikace: Farmaceutická výroba, montáž elektroniky **Požadavky třídy 10 (mírně čistá):** - Počet částic: >0,5 μm: <35 200 částic/m³ - Molekulární kontaminace: <1×10-⁶ g/cm²-min - Materiály kabelových vývodek: Standardní polymery s úpravou - Aplikace: Výroba zdravotnických prostředků ### Požadavky specifické pro dané odvětví **Výroba polovodičů:** - Limity molekulární kontaminace ovzduší (AMC) - Kontaminace kovovými ionty <1×10¹⁰ atomů/cm² - Organická kontaminace <1×10¹⁵ molekul/cm² - Požadavky na distribuci velikosti částic **Farmaceutická výroba:** - Standardy třídy USP pro sterilní výrobu - Limity biologické zátěže a endotoxinů - Chemická kompatibilita s čisticími prostředky - Požadavky na validaci a dokumentaci **Letectví a obrana:** - Úrovně čistoty podle MIL-STD-1246 - Požadavky na kontrolu kontaminace kosmických lodí - Zkoušky tepelné stability ve vakuu - Dlouhodobá spolehlivost mise Spolupracoval jsem s Ahmedem, který řídí farmaceutický výrobní závod v Dubaji ve Spojených arabských emirátech, kde potřebovali kabelové vývodky pro sterilní plnění vyžadující podmínky třídy 5 ISO s dalšími požadavky na biokompatibilitu. Zařízení společnosti Ahmed vyžadovalo rozsáhlé testování a validaci materiálu, aby bylo zajištěno, že kabelové vývodky splňují požadavky na čistotu i regulační požadavky pro farmaceutickou výrobu. ### Úvahy o instalaci a údržbě **Instalační protokoly:** - Obaly kompatibilní s čistými prostory - Postupy manipulace bez kontaminace - Čištění a kontrola před instalací - Požadavky na dokumentaci a sledovatelnost **Požadavky na údržbu:** - Plány pravidelného čištění a kontrol - Kritéria a postupy pro výměnu - Programy monitorování kontaminace - Testování ověřování výkonu **Zajištění kvality:** - Certifikace materiálu a dokumentace - Postupy kvalifikace instalace (IQ) - Testování provozní způsobilosti (OQ) - Validace kvalifikace výkonu (PQ) ## Jak vybrat kabelové vývodky pro aplikace s ultravysokým vakuem? Systémy s ultravysokým vakuem vyžadují specializované konstrukce a materiály kabelových vývodek, aby bylo možné dosáhnout tlaku pod 1×10-⁹ torr. **Kabelové vývodky UHV musí mít celokovovou konstrukci s teflonovou nebo keramickou izolací a musí dosahovat těsnosti <1×10-¹⁰ atm-cc/s helia při zachování elektrického výkonu a spolehlivého utěsnění v mnoha tepelných cyklech od -196 °C do +450 °C.** ### Požadavky na návrh UHV **Vakuový výkon:** - Základní tlak: <1×10-⁹ torr dosažitelný - Míra úniku: [<1×10-¹⁰ atm-cc/s helium](https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/)[5](#fn-5) - Rychlost vypouštění plynů: <1×10-¹² torr-L/s-cm² - Schopnost tepelného cyklování: -196 °C až +450 °C **Výběr materiálu:** - Konstrukce z nerezové oceli 316L - PTFE nebo keramická elektrická izolace - Těsnicí rozhraní kov-kov - Elektricky leštěné povrchové úpravy **Konstrukční prvky:** - Příruby Conflat (CF) pro kompatibilitu s UHV - Těsnění nožem s měděnými těsněními - Minimální vnitřní objem a povrch - Možnost pečení při teplotě 450 °C pro úpravu ### Úvahy o elektrickém výkonu **Požadavky na izolaci:** - Průrazná pevnost při vysokém napětí - Nízký svodový proud <1 nA - Teplotní stabilita v provozním rozsahu - Odolnost proti záření pro specifické aplikace **Materiály vodičů:** - Bezkyslíkatá měď pro nízkou míru zplodin - Stříbrné nebo zlaté pokovení pro odolnost proti korozi - Řízené přizpůsobení tepelné roztažnosti - Konstrukce mechanického odlehčení **Stínění a EMC:** - Průběžná stínicí cesta průchodkou - Zemní spojení s nízkou impedancí - Minimální elektromagnetické rušení - Kompatibilita s citlivými měřeními ### Příklady aplikací **Urychlovače částic:** - Požadavky na ultravysoké vakuum - Prostředí s vysokou radiací - Přesný elektrický výkon - Dlouhodobé potřeby spolehlivosti **Zařízení pro analýzu povrchu:** - Systémy elektronové spektroskopie - Nástroje pro analýzu iontových paprsků - Mikroskopy se skenovací sondou - Aplikace hmotnostní spektrometrie **Vesmírné simulační komory:** - Tepelné vakuové zkoušky - Náklad citlivý na kontaminaci - Dlouhodobé mise - Extrémní teplotní cykly Společnost Bepto nabízí specializovaná řešení kabelových vývodek UHV navržená a testovaná speciálně pro aplikace v ultravysokém vakuu, která zajišťují spolehlivý výkon v nejnáročnějších výzkumných a průmyslových prostředích. ## Závěr Výběr správných materiálů kabelových vývodek pro aplikace v čistých prostorech a vakuu má zásadní význam pro prevenci kontaminace, která může ohrozit citlivé procesy a zařízení. PTFE a PEEK nabízejí nejnižší míru odplyňování pro velmi čisté prostředí, zatímco speciálně zpracované elastomery zajišťují potřebnou těsnost. Pochopení klasifikace čistých prostor a požadavků na vakuum pomáhá zajistit správný výběr materiálu, přičemž třída ISO 1 vyžaduje nejpřísnější materiály a aplikace UHV vyžadují celokovovou konstrukci. Standardizované testovací metody, jako je ASTM E595, poskytují spolehlivé kvalifikační údaje, zatímco správné postupy instalace a údržby udržují dlouhodobý výkon. Ve společnosti Bepto kombinujeme rozsáhlé odborné znalosti materiálů s komplexními možnostmi testování, abychom mohli dodávat řešení kabelových vývodek, která splňují nejnáročnější požadavky na čistotu a vakuum. Nezapomeňte, že investice do správných materiálů s nízkým obsahem plynů dnes zabrání nákladným problémům se znečištěním a zpožděním výroby zítra! 😉 ## Často kladené otázky o materiálech kabelových vývodek s nízkou úrovní emisí plynů ### **Otázka: Jakou míru odplynění potřebuji pro kabelové vývodky pro čisté prostory?** **A:** Čisté prostory třídy 1 ISO vyžadují míru odplynění nižší než 1×10-⁹ g/cm²-min, zatímco prostředí třídy 5 povoluje až 1×10-⁷ g/cm²-min. Materiály PTFE a PEEK obvykle těchto požadavků dosahují při správném zpracování a manipulaci. ### **Otázka: Lze ve vakuových aplikacích použít standardní kabelové vývodky?** **A:** Standardní kabelové vývodky s běžnými elastomery a neupraveným povrchem jsou pro vakuové aplikace nevhodné z důvodu vysoké míry odplyňování. Pro tlaky nižší než 1×10-⁶ torr jsou vyžadovány specializované materiály s nízkým obsahem plynů a provedení kompatibilní s vakuem. ### **Otázka: Jak mohu testovat materiály kabelových vývodek na odplynění?** **A:** Pro screeningové testy měřící celkové hmotnostní ztráty (TML) a shromážděné těkavé kondenzovatelné materiály (CVCM) použijte normu ASTM E595. Pro vakuové aplikace se používá norma ASTM F1408, která umožňuje měření rychlosti odplyňování. Pro kritické aplikace přijímejte materiály s TML <1,0% a CVCM <0,1%. ### **Otázka: Jaký je rozdíl mezi požadavky na kabelové vývodky pro čisté prostory a vakuové kabelové vývodky?** **A:** Aplikace v čistých prostorách se zaměřují na tvorbu částic a molekulární kontaminaci při atmosférickém tlaku, zatímco vakuové aplikace kladou důraz na rychlost odplyňování a těsnost při sníženém tlaku. Vakuové systémy obvykle vyžadují přísnější specifikace materiálů a celokovovou konstrukci. ### **Otázka: Jak dlouho si kabelové vývodky s nízkým obsahem plynů zachovávají svůj výkon?** **A:** Správně zvolené a nainstalované kabelové vývodky s nízkým obsahem plynů si zachovávají výkonnost po dobu 5-10 let v čistých prostorách a 10-20 let ve vakuových systémech. Pravidelné sledování a údržba podle protokolů zařízení zajišťují trvalou shodu s požadavky na čistotu. 1. “Databáze zplodin NASA”, `https://outgassing.nasa.gov/`. Poskytuje standardizované údaje TML a CVCM pro polymery pro letecký průmysl včetně PTFE a PEEK. Důkazní role: statistika; Typ zdroje: vládní. Podporuje: Materiály kabelových vývodek z PTFE a PEEK vykazují nejnižší míru odplynění <1×10-⁸ torr-L/s-cm² pro vakuové aplikace. [↩](#fnref-1_ref) 2. “Odplyňování ve vakuových systémech”, `https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing`. Vysvětluje termodynamické principy a Arrheniovo chování molekulární desorpce ve vakuovém prostředí. Důkazní role: mechanismus; Typ zdroje: výzkum. Podporuje: Rychlost odplyňování se zdvojnásobuje s každým zvýšením teploty o 10 °C. [↩](#fnref-2_ref) 3. “ASTM E595 - Standardní zkušební metoda pro stanovení celkové ztráty hmotnosti”, `https://www.astm.org/e0595-15r21.html`. Uvádí oficiální postup zkoušky při teplotě 125 °C ve vakuu pro hodnocení vlastností odplyňování materiálu. Evidence role: general_support; Typ zdroje: norma. Podporuje: Normy ASTM E595 a NASA SP-R-0022A poskytují standardizované zkušební metody pro měření celkových hmotnostních ztrát (TML) a sebraných těkavých kondenzovatelných materiálů (CVCM). [↩](#fnref-3_ref) 4. “ISO 14644-1:2015 Čisté prostory a související řízená prostředí”, `https://www.iso.org/standard/53394.html`. Definuje přísné limity koncentrace částic v ovzduší pro výrobní zařízení třídy 1 až 9. Důkazní role: statistika; Typ zdroje: norma. Podporuje: Počet částic: 0,1 μm. [↩](#fnref-4_ref) 5. “Základy testování úniku helia”, `https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/`. Podrobnosti o technikách hmotnostní spektrometrie potřebných k ověření těsnění UHV při hodnotách nižších než 10¹⁰ atm-cc/s. Evidence role: general_support; Typ zdroje: průmysl. Podporuje: Rychlost úniku: <1×10-¹⁰ atm-cc/s helia. [↩](#fnref-5_ref)