# Кои материали за кабелни уплътнения предлагат най-ниско ниво на изпускане на газове за приложения в чисти помещения и вакуум?

> Източник:: https://chinacableglands.com/bg/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/
> Published: 2026-03-06T01:37:50+00:00
> Modified: 2026-05-13T01:31:28+00:00
> Agent JSON: https://chinacableglands.com/bg/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.json
> Agent Markdown: https://chinacableglands.com/bg/blog/which-cable-gland-materials-offer-the-lowest-outgassing-for-cleanroom-and-vacuum-applications/agent.md

## Summary

Изборът на материали за кабелни уплътнения с ниско ниво на изпускане на газове е от съществено значение за предотвратяване на молекулярно замърсяване в чисти помещения и системи със свръхвисок вакуум. В това техническо ръководство се разглеждат механизмите на изпускане на газове, сравняват се характеристиките на полимерите PTFE и PEEK и се описват подробно строгите изпитвания...

## Article

![Полиетер етер кетон](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Polyether-Ether-Ketone-1024x325.jpg)

Полиетер етер кетон

## Въведение

Молекулярното замърсяване от изпускащите се материали за кабелни уплътнения може да унищожи полупроводникови пластини, да компрометира оптични покрития и да замърси свръхвисоко вакуумни системи, причинявайки милиони загуби на продукти и забавяне на изследвания, когато летливите органични съединения надвишават критичните прагове на чистота в чувствителна производствена среда.

**[Материалите за кабелни уплътнения от PTFE и PEEK демонстрират най-ниските нива на изпускане на газове при <1×10-⁸ torr-L/s-cm² за вакуумни приложения](https://outgassing.nasa.gov/)[1](#fn-1), а специално разработените еластомери с ниско ниво на отделяне на газове и металните компоненти осигуряват надеждно уплътняване в чисти помещения, изискващи стандарти за чистота ISO клас 1-5.**

След десетилетие работа с фабрики за полупроводници, производители на аерокосмически продукти и научноизследователски институции научих, че изборът на правилните материали за кабелни жлези с ниско съдържание на газове не е свързан само със спазването на спецификациите, а и с предотвратяването на замърсяване, което може да спре цели производствени линии или да компрометира важни научноизследователски проекти.

## Съдържание

- [Какво причинява изпускането на газове в материалите за кабелни канали?](#what-causes-outgassing-in-cable-gland-materials)
- [Кои материали осигуряват най-ниски нива на изпускане на газове?](#which-materials-provide-the-lowest-outgassing-rates)
- [Как да тествате и измервате ефективността на изпускане на газове?](#how-do-you-test-and-measure-outgassing-performance)
- [Какви са изискванията за различните класификации на чистите помещения?](#what-are-the-requirements-for-different-cleanroom-classifications)
- [Как се избират кабелни втулки за приложения със свръхвисок вакуум?](#how-do-you-select-cable-glands-for-ultra-high-vacuum-applications)
- [Често задавани въпроси относно материалите за кабелни клапи с ниско ниво на отделяне на газове](#faqs-about-low-outgassing-cable-gland-materials)

## Какво причинява изпускането на газове в материалите за кабелни канали?

Разбирането на механизмите на изпускане на газове е от съществено значение за избора на подходящи материали за приложения в чисти помещения и вакуум.

**Изпускането на газове се случва, когато летливите органични съединения, пластификаторите и абсорбираната влага мигрират от материалите на кабелните втулки в околната среда, като скоростта на емисиите нараства експоненциално с температурата и намаляващото налягане, създавайки молекулярно замърсяване, което може да застраши чувствителни процеси и оборудване.**

![Диаграма, илюстрираща механизмите на изпускане на газове в чисти помещения и вакуумни приложения, показваща летливи органични съединения, които излизат от кабелен сандък, с обозначения на основните източници на изпускане на газове и ефектите на околната среда, които се влияят от температурата и налягането.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Outgassing-Mechanisms-Cleanroom-Vacuum-Applications.jpg)

Механизми за изпускане на газове - приложения за чисти помещения и вакуум

### Първични източници на обгазяване

**Полимерни добавки:**

- Пластификаторите подобряват гъвкавостта, но увеличават изпускането на газове
- Антиоксидантите предотвратяват разграждането, но могат да се изпаряват
- Помощни средства за обработка и агенти за освобождаване на форми
- Оцветителите и UV стабилизаторите допринасят за емисиите

**Производствени остатъци:**

- Остатъци от разтворители при преработка
- Нереагирали мономери и олигомери
- Остатъци от катализатори и инициатори
- Замърсяване на повърхността при работа

Работих с д-р Сара Чен, инженер по процесите в завод за полупроводници в Силициевата долина, където стандартните найлонови кабелни втулки причиняваха замърсяване с частици в чистата им стая от клас 1, което водеше до загуба на 15% добив на усъвършенствани логически чипове.

### Фактори на околната среда

**Ефекти на температурата:**

- [Скоростта на изпускане на газове се удвоява на всеки 10°C увеличение](https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing)[2](#fn-2)
- Термичният цикъл ускорява освобождаването на летливи вещества
- Високотемпературното изпичане намалява дългосрочните емисии
- Енергията на активиране определя температурната чувствителност

**Влияние на налягането:**

- По-ниското налягане увеличава движещата сила за изхвърляне на газове
- Вакуумните условия предотвратяват реабсорбцията
- Режимът на молекулярния поток влияе върху масовия трансфер
- Скоростта на изпомпване оказва влияние върху равновесните концентрации

**Зависимости от времето:**

- Първоначален изблик на високи нива на изхвърляне на газове
- Постепенно намаляване, следващо закона на мощността
- Дългосрочни емисии в стабилно състояние
- Въздействие на стареенето върху свойствата на материалите

Фабриката на д-р Чен се нуждаеше от пълна оценка на материалите и процес на подбор, за да се идентифицират материали за кабелни салници със скорост на изпускане на газове под 1×10-⁹ torr-L/s-cm², за да се поддържат критичните изисквания за чистота.

### Механизми на замърсяване

**Повърхностна адсорбция:**

- Летливите съединения се кондензират върху студени повърхности
- Молекулярните слоеве се натрупват с течение на времето
- Десорбцията води до вторично замърсяване
- Критичните температури на повърхността влияят върху кондензацията

**Химични реакции:**

- Изпусканите газове реагират с химикали от процеса
- Каталитични ефекти върху чувствителни повърхности
- Корозия и ецване на оптични компоненти
- Образуване на нелетливи остатъци

**Генериране на твърди частици:**

- Разграждането на полимера създава частици
- Топлинното напрежение причинява изхвърляне на материал
- Механичното износване генерира отломки
- Електростатичното привличане концентрира частиците

## Кои материали осигуряват най-ниски нива на изпускане на газове?

Изборът на материали е от решаващо значение за постигане на свръхниски показатели на изпускане на газове в приложения с високи изисквания.

**Полимерите PTFE, PEEK и PPS предлагат скорост на изпускане на газове под 1×10-⁸ torr-L/s-cm², докато специално обработените еластомери EPDM и FKM осигуряват възможност за уплътняване със скорост под 1×10-⁷ torr-L/s-cm², а електрополираните компоненти от неръждаема стомана допринасят за минимално замърсяване във вакуумните системи.**

### Производителност на полимерните материали

**Полимери със свръхниско ниво на изпускане на газове:**

| Материал | Скорост на изпускане на газове (torr-L/s-cm²) | Температурен лимит | Основни предимства | Приложения |
| PTFE |  | 260°C | Химическа инертност, ниско триене | Свръхвисокотемпературни, полупроводникови |
| PEEK |  | 250°C | Висока якост, устойчивост на радиация | Аерокосмическа индустрия, изследвания |
| PPS |  | 220°C | Добра химическа устойчивост | Автомобили, електроника |
| PI (полиамид) |  | 300°C | Висока температурна стабилност | Космически приложения |

**Опции за еластомер:**

- EPDM с ниска степен на изпускане на газове: <1×10-⁷ torr-L/s-cm²
- Специално обработен FKM: <5×10-⁷ torr-L/s-cm²
- Перфлуороеластомер: <1×10-⁸ torr-L/s-cm²
- Силикон (клас с ниска степен на изпускане на газове): <1×10-⁶ torr-L/s-cm²

### Съображения за металните компоненти

**Класове неръждаема стомана:**

- 316L електрополиран: <1×10-¹⁰ torr-L/s-cm²
- 304 стандартно покритие: <1×10-⁹ torr-L/s-cm²
- Обработката за пасивиране намалява изпускането на газове
- Грапавостта на повърхността влияе върху нивото на емисиите

**Алтернативни метали:**

- Алуминиеви сплави с анодизирано покритие
- Титан за корозивни среди
- Инконел за високотемпературни приложения
- Мед за специфични електрически изисквания

Спомням си, че работих с Ханс, инженер по вакуумни системи в изследователско съоръжение в Мюнхен, Германия, където се нуждаеха от кабелни накрайници за лъчева линия на ускорител на частици, изискваща условия на свръхвисок вакуум под 1×10-¹¹ torr.

Приложението на Hans изискваше изцяло метални кабелни втулки с изолация от PTFE и специално обработени уплътнения, за да се постигнат необходимите нива на вакуум, без да се нарушават електрическите характеристики.

### Ефекти от обработката и лечението

**Подготовка на повърхността:**

- Електрополирането намалява площта на повърхността
- Химическото почистване отстранява замърсяванията
- Обработките за пасивиране подобряват стабилността
- Обработка в контролирана атмосфера

**Термично кондициониране:**

- Вакуумно изпичане при повишена температура
- Отстранява летливите съединения и влагата
- Ускорено стареене за стабилност
- Тестване за проверка на контрола на качеството

**Осигуряване на качеството:**

- Сертифициране и проследяване на материали
- Партидно изпитване за ефективност на изпускане на газове
- Статистически контрол на процеса
- Опаковане и обработка без замърсяване

## Как да тествате и измервате ефективността на изпускане на газове?

Стандартизираните методи за изпитване осигуряват надеждно измерване на скоростта на изпускане на газове за квалификация на материалите.

**[ASTM E595 и NASA SP-R-0022A предоставят стандартизирани методи за изпитване за измерване на общата загуба на маса (TML) и събраните летливи кондензиращи материали (CVCM).](https://www.astm.org/e0595-15r21.html)[3](#fn-3), с критерии за приемане TML <1,0% и CVCM <0,1% за приложения в космически кораби, докато ASTM F1408 измерва скоростта на изпускане на газове за приложения във вакуум.**

### Стандартни методи за изпитване

**Тест за проверка по ASTM E595:**

- 24-часова експозиция при 125°C във вакуум
- Измерва общата загуба на маса (TML)
- Събиране на летливи кондензиращи материали (CVCM)
- Критерии за положителен/отрицателен резултат за космически приложения
- Широко приет индустриален стандарт

**ASTM F1408 Измерване на скоростта:**

- Непрекъснато наблюдение на скоростта на изпускане на газове
- Характеристика на зависимостта от температурата и времето
- Подходящ за проектиране на вакуумни системи
- Осигурява кинетични данни за моделиране

**Персонализирани протоколи за изпитване:**

- Специфични за приложението температурни профили
- Тестване с удължена продължителност
- Химичен анализ на изхвърлените газове
- Оценка на чувствителността към замърсяване

### Оборудване и процедури за изпитване

**Вакуумни системи:**

- Изпитвателни камери за свръхвисок вакуум
- Анализатори на остатъчни газове (RGA)
- Квадруполни масспектрометри
- Системи за измерване на налягането

**Подготовка на пробата:**

- Контролирано рязане и обработка
- Измерване на площта на повърхността
- Процедури за предварително кондициониране
- Протоколи за предотвратяване на замърсяване

**Анализ на данните:**

- Изчисления на степента на изпускане на газове
- Статистически анализ на резултатите
- Моделиране по Архениус за температурни ефекти
- Прогнози за продължителността на живота и екстраполация

### Приложения за контрол на качеството

**Квалификация на материала:**

- Изисквания за сертифициране на доставчиците
- Проверка на съответствието между партидите
- Тестване за валидиране на процеса
- Оценка на дългосрочната стабилност

**Мониторинг на производството:**

- Планове за статистически извадки
- Анализ на тенденциите и контролни диаграми
- Разследване на несъответствия
- Програми за непрекъснато усъвършенстване

В Bepto поддържаме партньорства със сертифицирани лаборатории за изпитване, за да осигурим цялостно характеризиране на изпускането на газове за всички наши продукти за кабелни уплътнения, съвместими с чисти помещения и вакуум.

## Какви са изискванията за различните класификации на чистите помещения?

Класификацията на чистите помещения определя специфичните изисквания към материалите и мерките за контрол на замърсяването.

**За чисти помещения от клас 1 по ISO се изискват материали за кабелни уплътнения с генериране на частици 0,1μm и молекулярно замърсяване <1×10-⁹ g/cm²-min, докато за среда от клас 5 се допускат по-високи граници от 0,5μm и молекулярно замърсяване <1×10-⁷ g/cm²-min за производство на полупроводници и фармацевтични продукти.**

![Диаграма, очертаваща класификациите за чисти помещения (ISO Class 1, Class 5, Class 10) със съответните им граници на броя на частиците и молекулярното замърсяване, препоръчителни материали за кабелни уплътнения и примери за приложение, както и специфични за индустрията изисквания.](https://chinacableglands.com/wp-content/uploads/2025/09/Cleanroom-Classifications-Cable-Gland-Materials.jpg)

Класификации за чисти помещения и материали за кабелни уплътнения

### Класификации на ISO за чисти помещения

**Изисквания за клас 1 (ултрачист):**

- Брой частици: [0,1μm](https://www.iso.org/standard/53394.html)[4](#fn-4)
- Молекулярно замърсяване: <1×10-⁹ g/cm²-min
- Материали за кабелни уплътнения: PTFE, PEEK, електрополирани метали
- Приложения: Усъвършенствана литография на полупроводници

**Изисквания за клас 5 (стандартно почистване):**

- Брой частици: 0,5μm
- Молекулярно замърсяване: <1×10-⁷ g/cm²-min
- Материали за кабелни уплътнения: полимери с ниска степен на газоотделяне, обработени метали
- Приложения: Фармацевтично производство, сглобяване на електроника

**Изисквания за клас 10 (умерено чисти):**

- Брой частици: 0.5μm
- Молекулярно замърсяване: <1×10-⁶ g/cm²-min
- Материали за кабелни уплътнения: Стандартни полимери с обработка
- Приложения: Производство на медицински изделия

### Специфични за индустрията изисквания

**Производство на полупроводници:**

- Граници на молекулярното замърсяване на въздуха (AMC)
- Замърсяване с метални йони <1×10¹⁰ атоми/cm²
- Органично замърсяване <1×10¹⁵ молекули/cm²
- Изисквания за разпределение на размера на частиците

**Фармацевтично производство:**

- Стандарти USP Class за стерилно производство
- Гранични стойности на бионатоварването и ендотоксините
- Химическа съвместимост с почистващи препарати
- Изисквания за валидиране и документация

**Авиация и отбрана:**

- Нива на чистота по MIL-STD-1246
- Изисквания за контрол на замърсяването на космическите кораби
- Изпитване на термичната стабилност във вакуум
- Дългосрочна надеждност на мисията

Работих с Ахмед, който управлява фармацевтично производствено предприятие в Дубай, ОАЕ, където се нуждаеше от кабелни накрайници за операции по стерилно пълнене, изискващи условия на ISO клас 5 с допълнителни изисквания за биосъвместимост.

Заводът на Ахмед изискваше задълбочено тестване и валидиране на материалите, за да се гарантира, че кабелните уплътнения отговарят на изискванията за чистота и на регулаторните изисквания за фармацевтично производство.

### Съображения за инсталиране и поддръжка

**Протоколи за инсталиране:**

- Опаковка, съвместима с чисти помещения
- Процедури за работа без замърсяване
- Почистване и проверка преди инсталиране
- Изисквания за документация и проследимост

**Изисквания за поддръжка:**

- Графици за периодично почистване и проверка
- Критерии и процедури за замяна
- Програми за мониторинг на замърсяването
- Тестване за проверка на ефективността

**Осигуряване на качеството:**

- Сертифициране на материали и документация
- Процедури за квалификация на инсталацията (IQ)
- Изпитване за експлоатационна квалификация (OQ)
- Валидиране на квалификацията на изпълнението (PQ)

## Как се избират кабелни втулки за приложения със свръхвисок вакуум?

Системите със свръхвисок вакуум изискват специализирани конструкции и материали за кабелни уплътнения, за да се постигне налягане под 1×10-⁹ torr.

**Кабелните втулки за Свръхвисоко налягане трябва да използват изцяло метална конструкция с PTFE или керамична изолация, като постигат скорост на изтичане <1×10-¹⁰ atm-cc/s хелий, като същевременно запазват електрическите си характеристики и осигуряват надеждно уплътняване при множество термични цикли от -196°C до +450°C.**

### Изисквания за проектиране на UHV

**Вакуумни характеристики:**

- Базово налягане: <1×10-⁹ torr постижимо
- Степен на изтичане: [<1×10-¹⁰ atm-cc/s хелий](https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/)[5](#fn-5)
- Степен на обгазяване: <1×10-¹² torr-L/s-cm²
- Възможност за термоциклиране: -196°C до +450°C

**Избор на материал:**

- Конструкция от неръждаема стомана 316L
- PTFE или керамична електрическа изолация
- Интерфейси за уплътняване метал-метал
- Електрополирани повърхности

**Функции на дизайна:**

- Фланци Conflat (CF) за съвместимост с UHV
- Уплътняване с медни уплътнения по ръба на ножа
- Минимален вътрешен обем и повърхност
- Може да се пече до 450°C за кондициониране

### Съображения за електрическите характеристики

**Изисквания за изолация:**

- Сила на пробив при високо напрежение
- Нисък ток на утечка <1 nA
- Температурна стабилност в работния диапазон
- Устойчивост на радиация за специфични приложения

**Материали на проводника:**

- Безкислородна мед за ниско ниво на изпускане на газове
- Сребърно или златно покритие за устойчивост на корозия
- Контролирано съгласуване на топлинното разширение
- Дизайн за механично облекчаване на напрежението

**Екраниране и ЕМС:**

- Непрекъснат път на екраниране през захранващия канал
- Заземяващи връзки с нисък импеданс
- Минимални електромагнитни смущения
- Съвместимост с чувствителни измервания

### Примери за приложение

**Ускорители на частици:**

- Изисквания за свръхвисок вакуум
- Среда с висока радиация
- Прецизно електрическо изпълнение
- Нужди от дългосрочна надеждност

**Оборудване за анализ на повърхности:**

- Системи за електронна спектроскопия
- Инструменти за анализ на йонни лъчи
- Сканиращи сондови микроскопи
- Приложения на масспектрометрията

**Камери за космически симулации:**

- Термично вакуумно изпитване
- Полезен товар, чувствителен към замърсяване
- Мисии с голяма продължителност
- Екстремни температурни цикли

В Bepto предлагаме специализирани решения за UHV кабелни уплътнения, проектирани и тествани специално за приложения със свръхвисок вакуум, които гарантират надеждна работа в най-взискателните изследователски и промишлени среди.

## Заключение

Изборът на правилните материали за кабелни уплътнения за приложения в чисти помещения и вакуум е от решаващо значение за предотвратяване на замърсяването, което може да застраши чувствителни процеси и оборудване. PTFE и PEEK предлагат най-ниските нива на изпускане на газове за свръхчисти среди, докато специално обработените еластомери осигуряват необходимите уплътнителни характеристики. Разбирането на класификациите за чисти помещения и изискванията за вакуум помага да се осигури правилен избор на материал, като клас 1 по ISO изисква най-строгите материали, а приложенията за UHV изискват изцяло метална конструкция. Стандартизираните методи за изпитване, като ASTM E595, осигуряват надеждни данни за квалификацията, а правилните процедури за инсталиране и поддръжка поддържат дългосрочната ефективност. В Bepto съчетаваме обширен опит в областта на материалите с всеобхватни възможности за изпитване, за да предоставим решения за кабелни уплътнения, които отговарят на най-строгите изисквания за чистота и вакуум. Не забравяйте, че инвестирането в подходящи материали с ниско ниво на газоотделяне днес предотвратява скъпоструващи проблеми със замърсяването и забавяне на производството утре! 😉

## Често задавани въпроси относно материалите за кабелни клапи с ниско ниво на отделяне на газове

### **В: Каква скорост на изпускане на газове е необходима за кабелните уплътнения за чисти помещения?**

**A:** Чистите помещения от клас 1 по ISO изискват нива на изпускане на газове под 1×10-⁹ g/cm²-min, докато средите от клас 5 позволяват до 1×10-⁷ g/cm²-min. Материалите от PTFE и PEEK обикновено постигат тези изисквания при правилна обработка и боравене.

### **В: Могат ли стандартните кабелни втулки да се използват във вакуумни приложения?**

**A:** Стандартните кабелни втулки с конвенционални еластомери и необработени повърхности са неподходящи за вакуумни приложения поради високата степен на изпускане на газове. За налягания под 1×10-⁶ torr са необходими специализирани материали с ниска степен на изпускане на газове и съвместими с вакуум конструкции.

### **В: Как да тествам материалите за кабелни уплътнения за изпускане на газове?**

**A:** Използвайте стандарт ASTM E595 за скринингови тестове за измерване на общата загуба на маса (TML) и събраните летливи кондензиращи материали (CVCM). За вакуумни приложения стандартът ASTM F1408 осигурява измервания на скоростта на изпускане на газове. Приемайте материали с TML <1,0% и CVCM <0,1% за критични приложения.

### **В: Каква е разликата между изискванията за кабелни уплътнения за чисти помещения и вакуумни кабелни уплътнения?**

**A:** Приложенията за чисти помещения се фокусират върху генерирането на частици и молекулярно замърсяване при атмосферно налягане, докато приложенията за вакуум акцентират върху скоростта на изпускане на газове и херметичността при понижено налягане. Вакуумните системи обикновено изискват по-строги спецификации на материалите и изцяло метална конструкция.

### **В: Колко дълго кабелните уплътнители с ниска степен на газоотделяне запазват своите характеристики?**

**A:** Правилно подбраните и монтирани кабелни уплътнения с ниско съдържание на газове поддържат експлоатационните си характеристики в продължение на 5-10 години при приложения в чисти помещения и 10-20 години при вакуумни системи. Редовното наблюдение и поддръжка в съответствие с протоколите на предприятието гарантират непрекъснато спазване на изискванията за чистота.

1. “База данни на НАСА за изпускане на газове”, `https://outgassing.nasa.gov/`. Осигурява стандартизирани данни за TML и CVCM за полимери от аерокосмически клас, включително PTFE и PEEK. Роля на доказателството: статистическо; Тип на източника: правителствен. Подкрепя: Материалите за кабелни салници от PTFE и PEEK демонстрират най-ниски нива на изпускане на газове при <1×10-⁸ torr-L/s-cm² за вакуумни приложения. [↩](#fnref-1_ref)
2. “Изпускане на газове във вакуумни системи”, `https://en.wikipedia.org/wiki/Outgassing`. Обяснява термодинамичните принципи и поведението на Арениус при молекулна десорбция във вакуумна среда. Роля на доказателството: механизъм; Тип източник: изследване. Подкрепя: Скоростта на изхвърляне на газове се удвоява на всеки 10°C увеличение. [↩](#fnref-2_ref)
3. “ASTM E595 - Стандартен метод за изпитване на общата загуба на маса”, `https://www.astm.org/e0595-15r21.html`. Описва официалната процедура за изпитване в термичен вакуум при 125°C за оценка на характеристиките на изпускане на газове от материала. Evidence role: general_support; Source type: standard. Подкрепя: ASTM E595 и NASA SP-R-0022A предоставят стандартизирани методи за изпитване за измерване на общата загуба на маса (TML) и събраните летливи кондензиращи материали (CVCM). [↩](#fnref-3_ref)
4. “ISO 14644-1:2015 Чисти помещения и свързани с тях контролирани среди”, `https://www.iso.org/standard/53394.html`. Определя строги гранични стойности на концентрацията на частици във въздуха за производствени предприятия от клас 1 до клас 9. Роля на доказателство: статистическо; Тип източник: стандарт. Подкрепя: Брой частици: 0,1μm. [↩](#fnref-4_ref)
5. “Основи на тестването за изтичане на хелий”, `https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how/leak-testing/`. Подробно описание на техниките за масспектрометрия, необходими за проверка на уплътненията за СВЧ при величини под 10¹⁰ atm-cc/s. Evidence role: general_support; Source type: industry. Подкрепя: Скорост на изтичане: <1×10-¹⁰ atm-cc/s хелий. [↩](#fnref-5_ref)
